四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置，它可以測量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的電阻率，擴(kuò)散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻）。換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻行測量。

產(chǎn)品型號：DP-ST2258A

更新時(shí)間：2020-09-02

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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專用儀器儀表

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概述

　　DP-ST2258A型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置，它可以測量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的電阻率，擴(kuò)散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻）。換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻行測量。

　　本測試儀特贈設(shè)測試結(jié)果分類能，zui大分類10類

　　儀器所有參數(shù)設(shè)定、能轉(zhuǎn)換采用數(shù)字化鍵盤輸入；具有零位、滿度自校能；自動轉(zhuǎn)換量程；測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和耐磨碳化鎢探針制成，故定位準(zhǔn)確、游移率小、壽命長；測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。

基本參數(shù)

1. 測量范圍、分辨率

電阻： 1.0×10-3 ～ 200.0×103 Ω, 分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×103 Ω

電阻率： 10.0×10-3 ～ 20.0×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×103 Ω-cm

方塊電阻： 10.0×10-3 ～ 20.0×103 Ω/□ 分辨率1.0×10-3 ～ 0.1×103 Ω/□

2. 可測半導(dǎo)體材料尺寸

直徑：測試臺直接測試方式 Φ15～130mm，其他方式不限.

長（或）度：測試臺直接測試方式 H≤160mm, 其他方式不限.

3. 量程劃分及誤差等級

量程	200.0	20.00	2.000	200.0	20.00	2.000	200.0
	kΩ-cm/□			Ω-cm/□			mΩ-cm/□
誤差	±0.5%FSB±1LSB（在各量程范圍內(nèi)），量程或欠量程可測量，但誤差將隨欠程度而變大